在日新月異的科技浪潮中，泛半導(dǎo)體行業(yè)以其廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和關(guān)鍵性的技術(shù)支撐，成為引領(lǐng)現(xiàn)代工業(yè)發(fā)展的重要力量。其中，集成電路、平板顯示、LED、太陽能電池、分立器件以及半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)等細(xì)分領(lǐng)域，共同構(gòu)成了這個(gè)充滿活力的行業(yè)生態(tài)。
在這些領(lǐng)域中，半導(dǎo)體的制作流程尤為關(guān)鍵，其中沉積步驟更是不可或缺的一環(huán)。沉積，即將導(dǎo)電、隔離或半導(dǎo)體材料的薄膜精確沉積在晶圓上，為后續(xù)的工藝奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。傳統(tǒng)的化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)，以其高效、穩(wěn)定的特點(diǎn)，在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮著重要作用。
然而，CVD工藝在產(chǎn)生目標(biāo)產(chǎn)物的同時(shí)，也會釋放出廢氣，這些廢氣成分復(fù)雜，含量高，且具有較強(qiáng)的毒性和腐蝕性。例如HCl、ClF3、HF以及自燃性氣體SiH4等化合物氣體，不僅危害生產(chǎn)環(huán)境，更對操作人員的身體健康構(gòu)成威脅。
為了應(yīng)對這一挑戰(zhàn)，天得一公司憑借其深厚的技術(shù)積累和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，推出了高效、可靠的廢氣治理方案。通過采用不同型號的Local Scrubber＋復(fù)合式組合工藝處理，我們能夠有效去除廢氣中的有害物質(zhì)，使其達(dá)到可排放的尾氣處理標(biāo)準(zhǔn)。這不僅保護(hù)了生產(chǎn)環(huán)境，也為企業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供了有力保障。
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