方案概述
在半導體、顯示面板的蝕刻工藝以及金屬表面處理的磷化流程中,會產生大量含有雜質的廢磷酸液。這些廢酸若直接作為危廢處理,不僅成本高昂,更是對寶貴磷資源的巨大浪費,同時,高濃度磷排放會引發水體富營養化,破壞生態平衡。本方案采用預處理-精密凈化分離-除鋁設備-低溫蒸發設備的方式得到高濃度的磷酸,酸比重≥1.7,鋁離子去除率≥70%,回收率≥80%,回用于車間。
預處理單元:通過精密過濾等手段,有效去除廢酸中的懸浮顆粒物與膠體雜質。
核心分離單元:采用國際先進的DTRO膜,選擇性分離酸和金屬鹽離子,實現磷酸與金屬雜質的高效分離。
濃縮提純單元:將分離后的稀磷酸和除鋁設備產生的廢水混合后通過節能的MVR(機械蒸汽再壓縮)蒸發系統進行濃縮,最后再通過RO卷式膜系統,提取高純度磷酸。
