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半導(dǎo)體行業(yè)污染物在線監(jiān)測解決方案

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域因使用特種氣體、強(qiáng)酸強(qiáng)堿及大量有機(jī)溶劑，產(chǎn)生多樣廢氣，包括普通氣體、毒性廢氣、VOCs及酸堿性廢氣。天得一公司針對此行業(yè)特性，提供全面的在線監(jiān)控體系方案，精準(zhǔn)高效監(jiān)測管理廢氣排放，確保環(huán)保合規(guī)與作業(yè)安全。

方案概述

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域涉及的廢氣種類繁多，核心涵蓋普通氣體排放、含毒性成分廢氣、有機(jī)揮發(fā)性化合物（VOCs）以及酸堿性廢氣。該行業(yè)廣泛運(yùn)用特種氣體、強(qiáng)酸強(qiáng)堿等化學(xué)品及大量有機(jī)溶劑與揮發(fā)性介質(zhì)，這些物質(zhì)在加工過程中不可避免地生成上述廢氣。同時，化學(xué)品存儲區(qū)（如固廢倉庫）及特定作業(yè)環(huán)境亦成為廢氣污染的關(guān)鍵源。鑒于半導(dǎo)體行業(yè)的獨(dú)特性，天得一公司提供全面的污染物在線監(jiān)控體系方案，確保精準(zhǔn)、高效地監(jiān)測并管理各類廢氣排放。

方案內(nèi)容

1、粉塵廢氣監(jiān)測：針對半導(dǎo)體制造全鏈條中產(chǎn)生的粉塵廢氣，我們部署了基于激光散射技術(shù)的先進(jìn)在線監(jiān)測儀，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)、實(shí)時地粉塵濃度監(jiān)測，確保生產(chǎn)環(huán)境潔凈度。
2、鍋爐廢氣監(jiān)控：針對廠區(qū)蒸汽與燃?xì)忮仩t排放的氮氧化物等關(guān)鍵污染物，采用高性能CEMS（煙氣排放連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)），確保對鍋爐廢氣排放的全面、準(zhǔn)確監(jiān)控。
3、有機(jī)廢氣治理：針對半導(dǎo)體制造過程中釋放的非甲烷總烴、總VOCs及苯系物等有機(jī)廢氣，我們配置專業(yè)的非甲烷總烴在線監(jiān)測系統(tǒng)，精確捕捉并監(jiān)測有害氣體。
4、酸堿廢氣監(jiān)測：鑒于氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物及氯氣等酸堿廢氣的特殊性與潛在危害，選用基于電化學(xué)原理的酸堿在線監(jiān)測儀，實(shí)現(xiàn)精確測量與及時預(yù)警。
5、信息化平臺整合：所有監(jiān)測系統(tǒng)的數(shù)據(jù)均通過統(tǒng)一采集平臺匯總至企業(yè)信息化管理系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的可視化管理與分析，為企業(yè)決策提供科學(xué)依據(jù)。

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方案特點(diǎn)